Описание:

Трехмерный оптический профилометр NewView™ 9000 обеспечивает высокую универсальность бесконтактного оптического профилирования поверхностей. С помощью данной системы Вы можете легко и быстро измерять широкий диапазон  поверхностей различных типов, включая гладкие, грубые, плоские, наклонные и ступенчатые. Все измерения являются неразрушающими, быстрыми и не требуют подготовки образцов. В основе системы лежит технология когерентной сканирующей интерферометрии (CSI) ZYGO, которая обеспечивает точность на субнанометровом уровне при всех значениях увеличения для более широкого диапазона поверхностей по сравнению с другими аналогичными технологиями, доступными на рынке.

 

Особенности 

• Высокочувствительный крупноформатный сенсор 1.9 Мп;
• Быстрые бесконтактные измерения;
• Превосходная трехмерная визуализация;
• Точность на уровне ангстрем;
• Высокая прецизионность и возможность применения для калибровки;
• Улучшенная оптическая обработка изображений;
• Автоматическая настройка параметров измерения детали.

 

Производительность, ценность и универсальность

Гибкость является отличительной чертой продуктов NewView от ZYGO. Профилометр NewView 9000 является инструментом выбора для измерения плоскости, шероховатости, волнистости поверхностей, тонких пленок, высоты шагов и многих других параметров. 

Все профилометры NewView 9000 оснащены трехрежимной турелью, которая может оснащаться различной, разработанной для системы оптикой, что позволяет получать различные дискретные значения оптического увеличения. Размещение образца может выполняться как в ручном, так и полностью автоматическом режиме с наличием обратной связи по значению перемещения.
Независимо от вашей конфигурации все системы NewView 9000 обеспечивают быстрые, высокоточные измерения и простоту использования по привлекательной цене, что делает данные системы идеальным универсальным решением, обладающим оптимальным соотношением стоимость/производительность, по сравнению с другими оптическими профилометрами.

Системы NewView 9000 оснащены широким спектром функций, направленных на оптимизацию измерительного процесса, повышение его скорости, точности и надежности:

• Высокочувствительный крупноформатный датчик 1.9 МП позволяет Вам получать больше информации за одно измерение.
• Высокая скорость измерений – выполнение измерений за несколько секунд обеспечивает повышение производительности и более точное управление процессами.
• Автоматическая фокусировка на детали и настройка минимизируют вариацию результатов измерений, полученных различными операторами, и снижают требования к уровню их подготовки, тем самым сокращая время получения результатов.
• Возможность точных измерений и выполнения калибровок благодаря исключительной прецизионности и повторяемости для самых ответственных производственных задач.
• Устойчивые измерения в условиях вибраций – технология SureScan и встроенная изоляция обеспечивают высококачественные измерения даже в условиях вибрационных воздействий.
• Технология SmartPSI™ для сверхбыстрого профилирования сверх гладких поверхностей.
• Взаимосвязь двухмерных и трехмерных результатов обеспечивает достоверность измерений и соответствие результатов стандартам ISO 25178 и ISO 4287.
• Программное обеспечение Mx™ для автоматизации управления прибором, анализа и измерений.
• Формирование изображения с истинным уровнем цветопередачи для визуализации с повышенным качеством.

 

Программное обеспечение с расширенными возможностями для анализа и управления

 
Окно программного обеспечения Mx Software

 

 

Система оптического профилометра NewView 9000

Профилометр NewView 9000  поставляется с программным обеспечением ZYGO Mx™, которое предназначено для управления системой и анализа данных. Программное обеспечение позволяет получать и анализировать информативные интерактивные трехмерные графики, количественную топографическую информацию, обладает интуитивно-понятной навигацией по видам измерений и встроенной системой статистического контроля производственных процессов, контрольными картами и пределами для оценки соотвествия/несоотвествия.

• Интерактивные 3D-графики – масштабирование, панорамирование, поворот и обновление результатов в реальном времени.
• Гибкий анализ – широкий набор количественных результатов, вариантов отображения данных и фильтров.
• Простой в применении, интуитивно-понятный интерфейс пользователя, разработанный в соответствии с рабочими процессами. 
• Встроенная система статистического контроля производственных процессов с инструментами для отслеживания результатов измерений и оценки по критерию соотвествует/несоотвествует с возможностью статистического анализа процесса.

 

Гибкость настройки

 
Открытая рабочая область со свободными линиями обзора

Профилометр NewView 9000 обладает большой рабочей областью со свободными линиями обзора, что позволяет просто и быстро устанавливать настройки измерений и выполнять переналадку. Система может быть оборудована различными столиками для образца от полностью ручных столиков с возможностью перемещения по осям XY и наклоном до полностью автоматизированных столиков с перемещением 150 мм и углом наклона до 4 градусов. Благодаря встроенной системе изоляции и компактному размеру установка подходит для применения в качестве настольного прибора, а применение опционально стойки и рабочей станции делает ее идеальной системой для производственных условий.

 

Технические характеристики

Система
Номер по каталогу	6311-0100-01 NV 9000 с изоляцией 6311-0100-11 NV 9000 без изоляции
Метод измерения	Трехмерная когерентная сканирующая интерферометрия, технология SureScan™ и интерферометрия с фазовым сдвигом
Сканнер	Прецизионный пьезопривод с защитой от столкновений
Объективы	Увеличение в диапазоне 1.0X - 100X Стандартное и длинное рабочее расстояние
Опции для монтажа объективов	Крепление для одного объектива 4-х позиционная турель с ручным управлением Моторизованная 4-х позиционная турель
Оптический зум	Моторизованная 3-позиционная турель с 1,0-кратным увеличением Опционально 0.5X, 0.75X, 1.5X, 2.0X
Область обзора	от 0,04 х 0,04 мм до 17,49 х 17,49 мм, функция объединения сегментов для больших площадей
Подсветка	Светодиодная, белого света с ручным отключением, остановкой диафрагмы и спектральными фильтрами
Область измерений	Настраиваемый 1600 x 1200, 1000 x 1000, 1000 x 600, 1000 x 200
Просмотр детали	Окно просмотра в программном обеспечении Mx
Фокусировка	Моторизованная ручная или автоматическая фокусировка с помощью объектива
Столик Z-Drive (фокусировка)	Диапазон 100 мм с разрешением 0,1 мкм
Столик для детали	Диапазон перемещения ручного столика: • XY: 100 мм; наклон: ±3° Диапазон перемещения моторизированного столика: • XY: 150 мм; наклон: ±3° Опция экнкодера по осям XYZ
Системный контроллер	ПК с процессором класса i7 и экраном 1080P
Программное обеспечение	ПО ZYGO Mx версии 7.2.0 либо более поздняя версия с ОС Microsoft Windows 10 (64 бит)
Физические характеристики
Размеры (ВхШхГ)	75 x 64 x 56 см (основной модуль, настольное исполнение) 151 x 73 x 61 см (на стенде, максимальная высота, закрытые дверцы) Опциональная рабочая станция: 83 x 73 x 61 см (с закрытым ящиком)
Вес	Система NewView: 91 кг Система NewView со стендом: 229 кг
Требования к подключаемым источникам
Входное напряжение	от 100 до 240 В, AC, 50/60 Гц
Сжатый воздух для столика	От 4.1 до 5.5 бар (от 60 до 80 psi); сухой отфильтрованный воздух; вход для шланга с внешним диаметром 6 мм, в комплект включен переходник ¼ дюйма.
Рабочие характеристики
Диапазон сканирования по вертикали	150 мкм с прецизионным пьезоприводом; 20 мм с опциональным расширенным сканированием z-stage
Повторяемость топографии поверхности	0,08 нм
Среднеквадратическое значение повторяемости топографии поверхности	0,008 нм
Оптическое боковое разрешение	0.34 мкм (объектив 100X)
Пространственная выборка	0,04 мкм (объектив 100X 2-кратное увеличение)
Максимальная скорость сканирования данных	53 мкм / сек при 1600 x 1200 69 мкм / сек при 1000 х 1000 107 мкм / сек при 1000 x 600 171 мкм / сек при 1000 х 200
Повторяемость высоты шага	0,1 %
Погрешность высоты шага	0,3 %
Параметры измеряемой детали
Материал	Непрозрачный, прозрачный, с покрытием, непокрытый, зеркальный, грубый
Максимальная высота образца	89мм; более высокие образцы с применением головки и подъемного механизма
Максимальный наклон поверхности	55° - гладкая деталь @ 100X 85° - рассеивающая поверхность
Отражательная способность образца	0.05% - 100%
Условия окружающей среды
Температура	От 15 до 30 ° C со скоростью изменения <1,0 ° C за 15 минут
Относительная влажность	от 5 до 95%, без конденсации
Изоляция от вибраций	Включена и требуется для вибраций в диапазоне от 1 Гц до 120 Гц