Описание

Установка EasyLine (моделей EL S 200 TT и EL S 200 BM) предназначена для чистки, сушки, нанесения резиста, промывки:

• Пластин размером до 200 мм (8”)
• Подложек до 150 x 150 мм (6” x 6”)

Установка легка в обслуживании, может быть встроена в  установку жидкостной химической обработки или лабораторный стол.

Отличительные особенности:

• Цветной сенсорный экран (QVGA TFT LDC) размером 120,8 мм x 85,5 мм, с контроллером на базе Windows CE, с возможностью сохранения до 40 программ с 8 программируемыми  независимыми  этапами (сохранение на USB-накопитель)
• Программируемая скорость вращения до 6.000 оборотов в минуту
• Ручной переключатель вакуумного зажима с возможностью регулировки уровня вакуума
• Прозрачная крышка с защитной блокировкой 
• Маркировка, подтверждающая соответствие  требованиям CE 
• Настольное или встраиваемое исполнение
• (EL S 200 BM / TT)

Области применения:

• Образовательный процесс, изучение принципа проведения процесса фотолитографии
• Научно-исследовательские работы в области фотолитографии
• Производство изделий микроэлектроники

Опции:

• Кольцо-держатель для форсунок
• Моторизированный дозирующий шприц для нанесения фоторезиста
• Распределительные сопла – подача капли, целый поток (струя) для различных доступных носителей
• Печи для сушки после нанесения фоторезиста
• Прижимы – различные размеры, вакуумный присос
• Баки для растворителя, фоторезиста и воды
• Система фильтрации для растворителя, фоторезиста и воды
• Система распределения растворителя с клапаном обратного высасывания
• Программируемая подача азота
• Вакуумный насос
• Пневматическая система дозирования шприцом 

 

Технические характеристики

Производительность:

• Ввод программы: Через цветной сенсорный экран
• Количество программ: 40
• Количество этапов на программу: 8
• Время этапа: 999 сек.
• Разрешение: 0,1 с.

Нанесение резиста:

• Размер пластин   до 200 мм (8”)
• Размер пластин   до 150 x 150 мм (6” x 6”)
• Скорость вращения: до 6.000 оборотов в минуту, программируемая*
• Разрешение: ±10 оборотов в минуту
• Ускорение: до 4.000оборотов в секунду, программируемое*

*в зависимости от веса образца

Требования к подключению:

• Напряжение: 24 В / 3 A
• Вакуум: -0,8 бар ± 0,2 бар, трубка с внешним диаметром 6 мм
• Азот (опция): 5 - 6 бар, трубка с внешним диаметром 6 мм

Размеры системы:

Встраиваемого типа (BM) - EL S 200 BM

• 340 x 340 x 300 мм (Ш x Г x В)
• Сенсорный дисплей.: 145 x 110 x 40 мм (Ш x Г x В)

Настольная (TT) - EL S 200 TT

• 410 x 450 x 320 мм (Ш x Г x В)